Daniel Franta, Ivan Ohlídal, Jaroslav Hora, Karel Navrátil
Proc: Spektroskopická elipsometrie slabě drsných povrchů
Proceedings of 12. konference českých a slovenských fyziků, Proceedings of 12. konference českých a slovenských fyziků (1996) pp.482-485
Published by Jednota českých matematiků a fyziků
Pokud standardní odchylka výšek nerovností σ náhodně drsných povrchů je podstatně menší než vlnová délka λ dopadajícího světla na tento povrch, je možné pro výpočetoptických veličin charakterizujících světlo odražené od takového povrchu použít Rayleigh–Rice (RR) teorii. Tato teorie umožňuje vypočítat i hodnoty elipsometrických parametrů Ψ (azimut) a Δ (fázový posuv) a odrazivosti R koherentně odražených vln od zmíněných slabě drsných povrchů. V tomto příspěvku ukážeme, že vztahy pro elipsometrické parametry a odrazivost odvozené v rámci námi zobecněné RR teorie mohou být využity i pro analýzu tenkých vrstev se slabě drsnými rozhraními. Pro tento účel budou použity velmi tenké oxidové vrstvy existujícína površích monokrystalu GaAs.
You may also contact one of the authors: franta@physics.muni.cz, ohlidal@physics.muni.cz