Petr Klapetek, Ivan Ohlídal, Daniel Franta
Měření základních statistických veličin náhodné povrchové drsnosti pomocí mikroskopie atomové síly
Československý časopis pro fyziku 51 (2001) 16–21
V tomto článku je podán přehled statistických veličin charakterizujících náhodně drsné povrchy, které jsou významné z hlediska praxe. Dále jsou popsány způsoby měření těchto veličin pomocí mikroskopie atomové síly. Tyto způsoby jsou ilustrovány prostřednictvím výsledků dosažených na náhodně drsných površích monokrystalu křemíku. Je také provedena diskuse chyb, které mohou ovlivnit hodnoty statistických veličin určených pomocí mikroskopie atomové síly. Výsledky dosažené u náhodně drsných povrchů křemíku užitím této techniky jsou srovnány s výsledky dosaženými pomocí optické metody.
You can also contact one of the authors: ohlidal@physics.muni.cz, franta@physics.muni.cz